高純氣體對于不同類別的氣體,純度指標不同,例如對于氮,氫,氦而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對于氧氣,純度為99.99%即可稱高純氧;對于碳氫化合物,純度為99.99%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域極寬,在半導體工業(yè),高純氮、氫、氦可作為運載氣和保護氣;高純氣體可作為配制混合氣的底氣。色譜分析檢測過程中,氣相色譜儀對所用的氣體純度有較高的要求,為既達到工作要求,又能延長儀器壽命,標準氣體,所用氣體的純度要達到或略高于儀器自身對氣體純度的要求;否則,工業(yè)氣體,若使用不符合要求的低純度氣體,混合氣體,會造成一系列不良影響。
高純氣體如何安全供氣?易燃易爆氣體此類氣體只要形成了可燃氣體混合氣和達到著火溫度,便會發(fā)生燃燒事故,因此在可燃氣體入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室內使用可燃氣體處、敷設可燃氣體的管廊或技術夾層以及可能聚集可燃氣體的場均應設置可燃氣體報警裝置。具體要求如下:①可燃氣體比空氣輕者,報警裝置設置在所處場所的頂部。②可燃氣體比空氣重者,報警裝置設置在所處場所的低處。③可燃氣體的報警裝置應與相應的事故排風裝置設電氣連鎖,當空氣中的可燃氣體濃度達到規(guī)定值時,事故排風裝置自動開啟,同時向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報警信號。